技術編號：11725090
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于機械泵領域，更具體地，涉及一種懸浮機械泵。背景技術從20世紀80年代開始,以微加工技術為基礎的微機電系統(tǒng)(MEMS)逐步從實驗室探索階段進入工業(yè)應用時期。微流體系統(tǒng)是微機電系統(tǒng)中的一個主要研究方向,它具有尺寸微小、自動化、集成化以及能批量生產等特點,并且由于尺寸小,能減小流動系統(tǒng)中的無效體積，提高控制精度，降低能耗和試劑用量，而且機械響應速度快。因此，近年來它在流體精確控制、化學分析(如微總分析系統(tǒng))、芯片冷卻和微型衛(wèi)星等領域中具有巨大的市場應用前景。微泵作為微流體系統(tǒng)中的動力源，是其...
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