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      一種長程表面等離子激元波導(dǎo)耦合器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11757725

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      本實(shí)用新型涉及電子技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種長程表面等離子激元波導(dǎo)耦合器。背景技術(shù)目前,光纖跟硅基光子器件的耦合主要采用端面耦合方式進(jìn)行耦合。所謂的端面耦合是直接耦合的一種,就是把平端光纖與未處理的硅基光子器件端面直接對(duì)接,進(jìn)行能量的傳遞。但是光纖跟硅基光子器件的模場面積不匹配,特別是硅基器件,因?yàn)楣璞旧淼恼凵渎适?.5左右,而組成光纖的材料的折射率一般為1.4,從光纖射出的光未經(jīng)過任何處理直接耦合進(jìn)波導(dǎo)會(huì)產(chǎn)生巨大的模場失配損耗,耦合效率極低。而耦合效率的高低直接決定了一個(gè)光學(xué)器件的性能。為了提高耦合...
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