技術(shù)編號：11807349
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。利用受控的固體形態(tài)學(xué)的流體的基于固體前體的傳送本專利申請是申請日為2007年8月31日，發(fā)明名稱為“利用受控的固體形態(tài)學(xué)的流體的基于固體前體的傳送”的中國專利申請200780040766.0（對應(yīng)于PCT國際申請PCT/US2007/077466）的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明系有關(guān)用于來源試劑材料的揮發(fā)作用之汽化器裝置與系統(tǒng)、及相關(guān)方法，該來源試劑材料如使用于化學(xué)氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)及離子植入制程的液體及固體來源試劑。背景技術(shù)在使用液體及固體材料做為CVD、ALD及離子植入的蒸...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。