技術(shù)編號：11826450
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及硅基光電子技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅基調(diào)制器及其制備方法。背景技術(shù)光調(diào)制器作為硅基光電子系統(tǒng)中的關(guān)鍵器件，最開始使用的是光源內(nèi)調(diào)制方式，由于受到帶寬的限制，漸漸演變?yōu)橥庹{(diào)制方式。目前，商用的外調(diào)制器結(jié)構(gòu)為馬赫-曾德爾干涉儀(Mach-Zehnderinterferometer，MZI)結(jié)構(gòu)，為了和硅基集成電路有效的集成，硅基MZI結(jié)構(gòu)光電調(diào)制器應運而生。對于硅基MZI結(jié)構(gòu)，又分為積累型、注入型和耗盡型三種方式，由于耗盡型方式的響應時間最短，帶寬最大，所以耗盡型MZI調(diào)制器是目前最常用的調(diào)...
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