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      外延結(jié)構(gòu)體的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):12041816

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      本發(fā)明涉及一種外延結(jié)構(gòu)體,尤其涉及一種具有石墨烯的外延結(jié)構(gòu)體。背景技術(shù)外延襯底,尤其氮化鉀外延襯底為制作半導(dǎo)體器件的主要材料之一。例如,近年來(lái),制備發(fā)光二極管(LED)的氮化鎵外延片成為研究的熱點(diǎn)。所述氮化鎵外延片是指在一定條件下,將氮化鎵材料分子,有規(guī)則排列,定向生長(zhǎng)在外延襯底如藍(lán)寶石基底上,然后再用于制備發(fā)光二極管。高質(zhì)量氮化鎵外延片的制備一直是研究的難點(diǎn)?,F(xiàn)有技術(shù)中,外延襯底的制備方法為將藍(lán)寶石基底的一表面進(jìn)行拋光,形成一平面,然后用于生長(zhǎng)氮化鎵外延片。然而,由于氮化鎵和藍(lán)寶石基底的晶格常...
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