技術(shù)編號(hào):12081233
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及劃片機(jī)設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種阻擋水霧裝置及劃片機(jī)。背景技術(shù)信息化高速發(fā)展的背景下,半導(dǎo)體制品需求量增大,從而使自動(dòng)劃片機(jī)的需求量日益增多。但產(chǎn)品的老化及損壞,增加著售后維修成本。其中水霧對(duì)Z向溜板及光柵尺的腐蝕,加速了自動(dòng)劃片機(jī)設(shè)備的老化及損壞。Z向溜板的材料為灰口鑄鐵,極易被腐蝕;光柵尺精度微米級(jí),附著污漬會(huì)改變光的反射角度,影響側(cè)值增加誤差。目前,多數(shù)自動(dòng)劃片機(jī)采用通過塑料卷簾阻擋水霧,但在高速劃切過程中產(chǎn)生的大量水霧會(huì)從各個(gè)方向滲出,顯微鏡觀測(cè)口尤甚,現(xiàn)有裝置阻擋水霧效果不佳,水...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。