技術(shù)編號:12159821
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的多個實施方案一般性涉及用于加工載體的方法和用于轉(zhuǎn)移石墨烯層的方法。背景技術(shù)通常,使用半導(dǎo)體工業(yè)的常規(guī)工藝來形成非常薄的材料層(例如,厚度在納米范圍內(nèi)或者厚度甚至小于一個納米)可能非常具有挑戰(zhàn)性。然而,對于電子器件和集成電路技術(shù),所謂的二維材料可能非常具有吸引力。例如,包括以六邊形布置的碳原子層的石墨烯可以具有如下優(yōu)異的電子性能:例如能夠制造具有增強的響應(yīng)和/或開關(guān)性能的晶體管。此外,超薄材料層與相應(yīng)的塊體材料相比可以具有增強的性能。因此,二維材料對于微電子例如對于開發(fā)各種類型的傳感器、晶...
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