技術(shù)編號:12285512
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開的實(shí)施方式涉及一種用于處理基板上的材料的設(shè)備以及一種用于通過處理設(shè)備測量在基板上處理的材料的一或多個光學(xué)性質(zhì)的方法。本公開的實(shí)施方式具體涉及一種用于處理基板以及測量在所述基板上處理的材料的一或多個光學(xué)性質(zhì)的設(shè)備。背景技術(shù)基板(諸如,塑料膜)上的光學(xué)涂層可由特定光譜反射率和透射率值以及所得的顏色值表征。在涂層制造過程中,對透射率和反射率(T/R)的可靠直列(inline)測量可以是需要為沉積工藝的控制和所涂覆的產(chǎn)品的光學(xué)質(zhì)量的控制而考慮的方面。T/R測量的較復(fù)雜的部分是反射率的測量。反射率的...
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