技術(shù)編號:12415662
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于真空電弧離子鍍膜領(lǐng)域,具體涉及一種位置連續(xù)可調(diào)的電弧靶引弧針固定裝置。背景技術(shù)在電弧離子鍍膜設(shè)備鍍膜過程中,通過引弧針尖觸碰靶材表面產(chǎn)生放電進行引弧。鍍膜過程中,引弧針位置與靶材表面距離過近,引弧針針尖溫度將不斷升高,持續(xù)燒蝕的電弧會使針尖部分熔斷,造成滅弧后鍍膜工作無法繼續(xù)進行;引弧針位置與靶材距離過遠,弧針針尖與靶面不能接觸,以致無法放電啟弧。隨著靶材的不斷消耗,每次鍍膜前引弧針的位置需要調(diào)整,使引弧過程中弧針針尖與靶面接觸放電,順利啟弧且不會熔斷弧針,由于靶材消耗程度難以度量,給...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。