技術(shù)編號:12443324
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及直線度測量技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種靜壓導(dǎo)軌直線度測量裝置,還涉及一種靜壓導(dǎo)軌直線度測量方法。背景技術(shù)靜壓導(dǎo)軌是超精密機(jī)床的核心零部件,其利用具有一定壓力的薄油膜支承與之配合的溜板運動,使導(dǎo)軌面之間處于純液體摩擦狀態(tài)。導(dǎo)軌運動的直線度誤差會直接反映在加工零件上,影響產(chǎn)品的互換性和產(chǎn)品精度。因此,在導(dǎo)軌安裝過程中需要對導(dǎo)軌的直線度進(jìn)行測量,并視直線度為機(jī)床精度的重要指標(biāo)之一。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,工業(yè)生產(chǎn)的不斷變革,工業(yè)上對各項幾何參數(shù)的測量精度要求越來越高,使得工業(yè)測量的內(nèi)容和手...
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