技術編號：12462585
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及帶有上鎖機構的活門和集成閥，例如涉及在半導體制造裝置的集成化氣體供給系統(tǒng)中使用的帶有上鎖機構的手動閥和具有它的集成閥。背景技術在半導體制造裝置的氣體供給系統(tǒng)中，使用在氣體棒等具有流路的集成閥單元上以串聯(lián)狀連接著手動閥、自動閥、放氣閥等各種閥、或過濾器、調節(jié)器、壓力傳感器、質量流量控制器等的集成閥。這樣的集成閥相互以并列狀鋪設，實現(xiàn)了盡可能的氣體供給系統(tǒng)的緊湊化。連接在這種集成閥上的手動閥設在集成閥的流路的入口或出口處，通常是通過作業(yè)者轉動手柄來將供給氣體的流路整體開閉的結構，需要可靠地...
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