技術(shù)編號：12821430
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光機電設(shè)備，尤其涉及一種干涉儀測量裝置及其控制方法。背景技術(shù)在傳統(tǒng)的光刻機臺干涉儀測量系統(tǒng)中，激光干涉儀常被用于精確測量載物臺或硅片臺(統(tǒng)稱載物臺)的位置及旋轉(zhuǎn)。請參考圖1，對于光刻機載物臺1水平方向X向或Y向的測量(在此定義坐標(biāo)系垂向為Z向，水平方向為X向和Y向)，一般直接在載物臺1側(cè)面安裝長條形反射鏡2，使激光干涉儀3發(fā)出的光垂直入射至長條形反射鏡2，用以測量X坐標(biāo)和Y坐標(biāo)。一般說來，載物臺1垂向行程不大，但水平向行程卻很大，因此需要在側(cè)面安裝和行程相當(dāng)?shù)拈L條形反射鏡2，可以在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。