技術(shù)編號：1323936
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。更具體地說，本發(fā)明涉及一種，其中從硅片上除去污染物，并且在硅片經(jīng)受蝕刻處理以后，重整硅片的表面。按常規(guī)，使用三種方法來洗滌蝕刻處理后的硅片。所使用的方法一般依賴于硅片的種類。按第一種方法，使蝕刻的晶片經(jīng)受離心干燥，并且然后經(jīng)受用于熱處理(蝕刻片清理)的預(yù)處理。按第二種方法，使蝕刻的晶片經(jīng)受臭氧處理以在硅片表面上形成氧化膜，然后經(jīng)受離心干燥，接著是噴砂步驟或邊緣拋光步驟。然后使晶片經(jīng)受用于熱處理的預(yù)處理。第三種方法是一種用于特定硅片的方法，其...
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