技術(shù)編號(hào)：1549778
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及制作掩膜版過程中母版的清潔技術(shù)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種高效、簡(jiǎn)單的掩膜母版清潔方法。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的方法為清潔液由下列組分配比而成雙氧水1份，濃硫酸0.5-3份，每次需要清潔母版時(shí)，先用鑷子將待清潔的母版放到清潔液中清洗，再用鑷子夾出，放置于板架上，再用去離子水沖洗多次，自然風(fēng)干即可。此過程利用雙氧水在酸性環(huán)境中分解，產(chǎn)生氧氣，氧氣泡從溶液中逸出時(shí)，產(chǎn)生破碎，形成激波，這種激波把粘附在基片上的物質(zhì)洗掉，而硫酸不僅能溶掉一些堿性物質(zhì)，而且酸...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。