技術編號：1944266
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一 種，所述熔融石 英玻璃的紫外線、可見光、紅外線的透射率高、高純度且耐熱性高、Cu等金屬雜質的擴散速度小。本發(fā)明的熔融石英玻璃可以用作各種光學材料、半導體制 造用部件、液晶制造用部件、MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems,樣￡電子機械系統(tǒng))制造用部件、液晶用玻璃基板等。 尤其適合用作在半導體熱處理工序或CVD工序中使用的芯管 (core pipe )。背景技術在各種光學材料、半導體制造用部件、液晶制造用...
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