技術(shù)編號：1968637
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導體生產(chǎn)行業(yè)用的石英部件的加工方法，特別是一種石英表面化 學粗糙處理方法。經(jīng)該方法處理過的石英產(chǎn)品表面粗糙度更均勻，無明顯凹凸，避免了 化學氣象淀積(CVD)過程中石英表面產(chǎn)生微粒(particle)現(xiàn)象，防止沉積膜裂紋的產(chǎn)生和脫 落，延長石英產(chǎn)品的使用壽命。 背景技術(shù)目前，半導體石英加工行業(yè)廣泛采用的石英表面處理技術(shù)大多是噴砂(sandblast)或火 拋光(fire polishing)。噴砂是利用高速氣流攜帶的金剛石研磨砂粒撞擊石英表...
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