技術編號：2311933
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。搬運機器人和基板處理設備本文公開的實施方式涉及一種搬運機器人和基板處理設備。背景技術在過去，布置在稱為EFEM (設備前端模塊)的殼體中的搬運機器人已知為用于搬 運諸如半導體晶片或液晶面板之類的基板的水平多關節(jié)型機器人的一個示例(例如參見日 本專利申請公報No. 2008 — 103755)。EFEM是設置在半導體處理設備的前面?zhèn)鹊哪K。在局部清潔的環(huán)境中，EFEM能夠 通過使用搬運機器人而在基板供給單元和基板處理單元之間傳送基板。通常，搬運機器人包括臂單...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。