技術(shù)編號(hào)：2369598
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型是有關(guān)于一種垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，且特別是有關(guān)于一種便于精確定 位的垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)目前，在微制造領(lǐng)域很多精密工件安裝都需采用通用工裝或?qū)Ｓ霉ぱb。例 如半導(dǎo)體制造業(yè)很多設(shè)備上的工件都對(duì)定位精度有較高要求，其中包括垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。在一種垂向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)中，可以實(shí)現(xiàn)Rx, Ry和Rz向三個(gè)自由度的調(diào)節(jié)。 該機(jī)構(gòu)分三大部分組成支撐底板，中間驅(qū)動(dòng)才幾構(gòu)和處于最上層的凈皮調(diào)節(jié)的工 作臺(tái)。工作臺(tái)與支撐底板之間有多個(gè)重要元件有相對(duì)位置精度要求，拆卸后重 新裝配時(shí)有重復(fù)...
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