技術(shù)編號(hào)：2682161
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包括機(jī)電系統(tǒng)的顯示器。背景技術(shù)機(jī)電系統(tǒng)包括具有電元件和機(jī)械元件、激活器、換能器、傳感器、光學(xué)組件(例如， 鏡面)和電子設(shè)備的裝置?？梢远喾N尺度來(lái)制造機(jī)電系統(tǒng)，所述多種尺度包括(但不限于) 微尺度和納米尺度。舉例來(lái)說(shuō)，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置可包括如下結(jié)構(gòu)具有在從約一微 米到數(shù)百微米或數(shù)百微米以上的范圍內(nèi)的大小。納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)裝置可包括如下結(jié) 構(gòu)具有小于一微米的大小(包括(例如)小于幾百納米的大小)?？墒褂贸练e、蝕刻、光 刻，和/或蝕刻...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。