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      曝光裝置及固化膜的形成方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:2689557

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      本發(fā)明涉及。背景技術(shù)已知有向涂布在撓性料片上的含有光固化劑的固化性膜照射固化光以使固化性 膜固化的曝光裝置。例如,在日本特開昭63-194779號公報的曝光裝置中,為了防止固化引 起的固化性膜的褶皺,將照射固化光的區(qū)域設(shè)定為被支撐輥支撐的部分。還已知有例如日本特開平10-10745號公報中記載的曝光裝置那樣,使用配置于 光源和固化性膜之間的光掩膜板僅對固化性膜的局部照射固化光的曝光裝置。在日本特開 平10-10745號公報中記載的光掩膜板上,設(shè)置有分別在料...
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