技術(shù)編號(hào)：2696669
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供，包括根據(jù)所需曝光精度的要求，將掩膜版上的圖形區(qū)分成若干等級(jí)1、2、…、N；將所述具有不同等級(jí)的圖形劃入相應(yīng)的需要采用不同曝光方式的區(qū)域單元1、2、…、N；以第一曝光方式對(duì)所述區(qū)域單元1內(nèi)包含的圖形進(jìn)行曝光，以第二曝光方式對(duì)所述區(qū)域單元2內(nèi)包含的圖形進(jìn)行曝光，依此類推，以第N曝光方式對(duì)所述區(qū)域單元N內(nèi)包含的圖形進(jìn)行曝光，其中，所述曝光方式具有不同的曝光速度，所述N為大于2的正整數(shù)。根據(jù)本發(fā)明，可以對(duì)所述掩膜版上的要求不同曝光精度的圖形分別采用不同...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。