技術(shù)編號(hào):2701734
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種粗精動(dòng)一體的磁浮掩膜臺(tái)系統(tǒng),主要用于光刻機(jī)系統(tǒng)中。該系統(tǒng)包括掩膜臺(tái)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)和機(jī)架;驅(qū)動(dòng)電機(jī)為動(dòng)鐵式磁浮平面電機(jī),驅(qū)動(dòng)電機(jī)的永磁體陣列和掩膜臺(tái)連接在一起,組成了該掩膜臺(tái)系統(tǒng)的動(dòng)子部分;驅(qū)動(dòng)電機(jī)的線圈陣列和機(jī)架連接在一起,組成了該掩膜臺(tái)系統(tǒng)的定子部分;驅(qū)動(dòng)電機(jī)可實(shí)現(xiàn)該掩膜臺(tái)系統(tǒng)的六自由度運(yùn)動(dòng),平面光柵尺則作為該掩膜臺(tái)系統(tǒng)的測量傳感器用于掩膜臺(tái)的位置反饋測量。粗精動(dòng)一體磁浮掩膜臺(tái)在減小了掩模臺(tái)體積的同時(shí)既提高了掩模臺(tái)的速度、加速度和控制帶寬,又滿足了高運(yùn)動(dòng)...
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