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      一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2710304

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      一種光刻投影物鏡功能性調(diào)節(jié)的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)屬于光刻投影物鏡控制領(lǐng)域,目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)存在的壓電驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的熱功率影響成像質(zhì)量、電容傳感器無(wú)法進(jìn)行遠(yuǎn)距離傳輸和調(diào)節(jié)時(shí)間長(zhǎng)的問(wèn)題。本發(fā)明包括控制機(jī)箱、功放機(jī)箱、電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱、壓電驅(qū)動(dòng)器和電容傳感器;所述控制機(jī)箱的光纖通信板卡通過(guò)光纖傳輸鏈路與功放機(jī)箱的核心算法板卡連接,功放機(jī)箱的驅(qū)動(dòng)采集板卡通過(guò)數(shù)字信號(hào)傳輸鏈路與電平轉(zhuǎn)換機(jī)箱的模數(shù)轉(zhuǎn)換板卡連接,功放機(jī)箱的驅(qū)動(dòng)采集板卡通過(guò)高壓模擬信號(hào)傳輸鏈路與壓電驅(qū)動(dòng)器連接,電平...
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