技術編號：2713079
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種光阻剝離方法及光阻剝離裝置，所述光阻剝離方法包括步驟1、提供待去除光阻層的基板；步驟2、采用紫外光照射待去除的光阻層；步驟3、在剝離槽中用光阻剝離液剝離該基板表面上的光阻；步驟4、完成光阻剝離之后，在緩沖區(qū)用風刀移除基板上的光阻剝離液；步驟5、風刀吹過之后，在水洗槽清洗基板上殘留的光阻剝離液。本發(fā)明能最大限度的減少光阻剝離過程中鋁腐蝕及IGZO腐蝕的發(fā)生，提高平板顯示器的質量。專利說明光阻剝離方法及光阻剝離裝置[0001]本發(fā)明涉及平板顯示器...
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