技術編號：2713675
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。超高真空試驗腔中光路精密調節(jié)及轉換裝置，屬于在超高真空環(huán)境下光學，為了實現利用同一光源評價多腔鏡組，該裝置包括EUV光源、樣品污染腔、閘板閥、光路精密調節(jié)及轉換裝置、鏡組真空腔和曝光腔；該發(fā)明在超高真空環(huán)境中所利用的光路精密調節(jié)及轉換裝置采用三點支撐兩維移動、兩維轉動精密可調方法準確調節(jié)定位反射鏡空間位置；并保證設計與安裝時反射鏡旋轉軸系的軸線一定與反射鏡反射面同心共面；利用等腰三角穩(wěn)定性原理將彈性元件布置在旋轉軸線的垂直平面上，并確保拉簧掛釘在轉軸中心線...
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