技術編號:2727877
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于硅基液晶(LCoS)微顯示器件制造的,具體涉及一種應用于 LCoS液晶盒制作的涂覆方法。背景技術硅基液晶(LCoS)微顯示是一種新型的反射式液晶微顯示技術。它利用CMOS技術將有源矩陣制作在硅襯底上,而頂面被用作反射層。顯示面板通過在LCoS晶圓頂面蓋裝 ITO玻璃,灌裝液晶制成。在LCoS液晶盒的制作過程中,為了精確控制盒厚以及起到支撐作用,要用到襯墊帶或者襯墊珠(Spacer),而盒厚在10 μ m以下多用襯墊珠(Spacer)。由于盒厚度較...
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