技術(shù)編號：2739072
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及灰調(diào)(grey tone)掩模和包含細微圖形的光掩模的缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置。 背景技術(shù) 近年來，在大型LCD用掩模的領(lǐng)域中，正嘗試使用灰調(diào)掩模來減少掩模的個數(shù)(月刊FPT Intelligence 1999年5月)。這里，灰調(diào)掩模，如圖6(1)所示，在透明襯底上具有遮光部1、透射部2和灰調(diào)部3?；艺{(diào)部3，例如是形成使用灰調(diào)掩模的大型LCD用曝光機分辨率界限以內(nèi)的遮光圖形3a的區(qū)域，其形成目的是減少透射過該區(qū)域的光的透射量，減少該區(qū)域的照射量...
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