技術(shù)編號(hào)：2745189
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在被處理基板上涂布液體的技術(shù)，特別涉及一種 以無(wú)旋轉(zhuǎn)方式在基板上形成涂布膜的涂布方法和涂布裝置。背景技術(shù)最近，在平板顯示器(FPD)制造過(guò)程的照相平版印刷 (photolithography)工序中，作為有利于被處理基板(如玻璃基板) 大型化的抗蝕劑(resist)涂布法，普及有使長(zhǎng)型抗蝕劑噴嘴一邊從 其狹縫狀噴出口呈帶狀噴出抗蝕劑液， 一邊對(duì)于基板作相對(duì)移動(dòng)或掃 描，不需要旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在基板上涂布抗蝕劑液形成所期望的膜厚的無(wú) 旋轉(zhuǎn)方式(例如參...
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