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      疊層亞波長減反結構及其制備方法技術資料下載

      技術編號:2746233

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      本發(fā)明涉及一種納米結構,尤其涉及一種適用于太陽能電池系統(tǒng)、光顯示面發(fā)射器件等需要寬譜廣角進出光的亞波長減反結構及其制備方法,屬于微納光子學領域。背景技術不同折射率物質之間的界面反射率是影響接收光、發(fā)出光以及傳輸光器件和設備性能的重要參數(shù),極低的界面反射率是光顯示、寬譜光源、太陽電池、透鏡等領域追求的重要指標。通常,采用蒸鍍光學減反膜來降低光學界面反射。為了盡量在廣角寬譜范圍內(nèi)降低界面反射率,通常需設計蒸鍍多層的光學膜,而且光學膜材料不盡唯一。復雜的膜系結構...
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