技術(shù)編號：2783593
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種包括雙向變位的可動部的微型機(jī)電式調(diào)制元件和微型機(jī)電式調(diào)制元件陣列以及圖像形成裝置，特別是涉及一種對可動部進(jìn)行制動的改進(jìn)技術(shù)。背景技術(shù) 近些年來，由于MEMS技術(shù)(MEMSMicro-Electro Mechanicalsystems-微型機(jī)電系統(tǒng))的快速發(fā)展，廣泛進(jìn)行使微米級的微型結(jié)構(gòu)體電變位·移動的微型機(jī)電式調(diào)制元件的研制。對于該微型機(jī)電式調(diào)制元件，可以是使微型反射鏡傾斜而實(shí)現(xiàn)光的偏轉(zhuǎn)的數(shù)字微型反射鏡設(shè)備(DMD)。在光信息處理的領(lǐng)域中，所...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。