技術(shù)編號：2812861
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于半導(dǎo)體，涉及一種液晶板實現(xiàn)掩膜版載體的光 刻裝置。技術(shù)背景掩膜版在光刻中所扮演的角色就像印刷中的模版，可重復(fù)不斷地將所需 要的圖形復(fù)制出來， 一塊光刻掩膜版就是一塊普通玻璃或石英玻璃，玻璃的 一面印有以金屬鉻為顏料的幾何圖形。光刻掩膜版主要用于半導(dǎo)體制造中的 光刻工藝，通過光學(xué)曝光，將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上，以便在硅片上 進行選擇性摻雜、互連，從而制成半導(dǎo)體器件和集成電路。在生產(chǎn)過程中需 要多個光刻版，如果頻繁的輪換使用多個透明物質(zhì)光刻版...
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