技術(shù)編號:2823275
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本系統(tǒng)總體上涉及具有聲學(xué)模式抑制的集成電路,例如集成換能器電路,更具體而言,涉及在具有亂真模式抑制的集成電路(IC)上一體制造的聲換能器,及其制造方法。超聲波換能器用于很多目的,例如成像、探測等。典型地,在用于醫(yī)療或其他類型成像的超聲波換能器中,這些換能器的聲學(xué)有源部件可以直接制造在集成電路(IC)上或經(jīng)由薄互連層連接到IC,以便節(jié)省空間并降低成本和復(fù)雜性??梢詫⒊暡〒Q能器并入電容性微機械加工的超聲波換能器(CMUT)和壓電式微機械加工的超聲波換能器(P...
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