技術編號：2843333
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及機械傳動領域，尤其涉及一種高真空或超高真空的密閉腔體中的樣品臺。背景技術現(xiàn)代分析儀器越來越多的需要用到高真空或超高真空的工作環(huán)境，在高真空或超高真空的密閉腔體中，樣品臺承載樣品進行定位后，在真空環(huán)境中對試樣進行加工或分析等操作。典型的，具有真空環(huán)境的儀器如二次離子探針質(zhì)譜儀，其對樣品的微區(qū)分析的要求是在超聞真空環(huán)境中進行的，聞精密的樣品臺承載樣品在真空腔體中在二維空間中移動，將待分析樣品的位置進行精確的定位，同時，還在二次離子引出的方向上移動...
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