技術編號：2848119
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及到短弧型高壓放電燈。更詳細來說，涉及用于半導體或 液晶等制造時的紫外線光源即短弧型放電燈，或用于放映機或舞臺照明 的氙氣燈等封固部構造上具有特征的短弧型高壓放電燈。背景技術.已知在半導體或液晶等的制造工序中，作為紫外線光源，大多使用 短弧型放電燈。該短弧型放電燈是在放電空間內(nèi)部封入水銀與稀有氣體， 利用來自水銀的發(fā)光的紫外線光源。另一方面，用于放映機或舞臺照明等 的氙氣燈是將氙氣體以高壓封入在放電空間內(nèi)部，并在利用來自氙氣的發(fā) 光的可視光區(qū)域放射...
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