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      一種利用同種材料薄板制備矩形光柵結(jié)構(gòu)的方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2868301

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      本發(fā)明涉及,通過(guò)兩種不同厚度的薄板按照一定規(guī)則交叉疊加來(lái)制作具有一定周期結(jié)構(gòu)的光柵,光柵的周期由兩種薄板的厚度決定,光柵槽的寬度由其中一種薄板的厚度決定,而光柵槽的深度由兩種薄板側(cè)面的面間距決定。該方法能夠制備出深寬比大、側(cè)面光滑陡峭的高精度光柵,該光柵結(jié)構(gòu)可廣泛應(yīng)用到真空電子器件的慢波結(jié)構(gòu)和精細(xì)加工模具的制造中。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及一種矩形光柵的制備方法,具體涉及。背景技術(shù)[0002]矩形光柵被大量應(yīng)用于真空電子學(xué)器件,如繞射輻射振蕩器件的慢波...
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      • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用