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      用于跟蹤氣體泄漏檢測(cè)的高靈敏度無(wú)縫離子源質(zhì)譜儀的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2933896

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      本發(fā)明涉及用于泄漏檢測(cè)應(yīng)用的質(zhì)譜儀,尤其,涉及具有高靈敏度的質(zhì)譜儀。背景技術(shù)氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)是眾知的泄漏檢測(cè)技術(shù)。使用氦作為示蹤氣體,它在密 封測(cè)試件中通過(guò)時(shí)的泄漏最小。然后把氦抽到泄漏檢測(cè)儀器和對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。 氦的量對(duì)應(yīng)于泄漏率。儀器的重要部件是檢測(cè)和測(cè)量氦的質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀使輸 入氣體離子化并且進(jìn)行分析,以便分離氦成分,然后對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。在一個(gè)方 法中,使測(cè)試件的內(nèi)部與泄漏檢測(cè)器的測(cè)試端口耦合。使氦噴射在測(cè)試件的外 部,通過(guò)泄漏在內(nèi)部抽取,并且通過(guò)泄漏檢...
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      • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用