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      一種無(wú)金屬底托的環(huán)狀真空吸氣元件的制備方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2935800

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      本發(fā)明屬于真空吸氣元件制備領(lǐng)域,特別涉及一種無(wú)金屬底托的環(huán)狀真空吸 氣元件的制備方法。 背景技術(shù)在電真空領(lǐng)域各種電真空器件,例如中子管、行波管、激光管、觸發(fā)管、光 電管、電光源等都是要求在一定的真空條件下才能正常工作,但是這類真空器件 從排氣臺(tái)上封離下來(lái)之后,在隨后的工作或儲(chǔ)存過(guò)程中,由于器件內(nèi)部的氣體吸 附解吸及各種表面化學(xué)反應(yīng)的結(jié)果,使器件內(nèi)部的殘余氣體種類及其分壓力經(jīng)常 在變化,這些細(xì)微的變化直接影響器件的電參數(shù)的穩(wěn)定,從而影響器件的工作性 能及使用...
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