技術(shù)編號：2938811
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于高靈敏氦質(zhì)譜檢漏儀的聚焦離子源，屬于離子 源技術(shù)和真空。背景技術(shù)在質(zhì)譜儀器的研制中，離子源的設(shè)計(jì)至關(guān)重要。目前在質(zhì)譜儀器中用得最多的氣體離子源是熱電子轟擊氣體離子源，由 電子發(fā)射陰極、陽極和離子引出電極組成，由于電子發(fā)射方向、電子運(yùn)動軌 跡、氣體分子與電子的運(yùn)動方向，以及電離區(qū)形式的不同，使由此組合而成 的離子源分為多種，而且性能參差不齊，靈敏度高低不等。而且在進(jìn)行高氧 濃度氣體或在含有大量水蒸氣、油蒸氣的分析時(shí)，離子源的陰極材料易氧...
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