技術(shù)編號(hào)：3178305
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種銑刀，更具體地說，涉及一種在銑磨面設(shè)有螺旋槽的銑刀。背景技術(shù) 半導(dǎo)體在制作過程中，晶圓表面的平整化是重要的一道工序。為了在更小的面積上堆積更密集的線路，晶圓每層的厚度與平整度都有嚴(yán)格要求，平整化過程有賴于拋光磨平，而此一制程又有賴于銑床。銑床根據(jù)加工材質(zhì)的種類來交換使用銑刀，如前述的晶圓外，石英、鎢鋼、石材、寶石、氧化鋯、氧化硼、氧化硅、陶瓷等均屬于硬質(zhì)材料，在進(jìn)一步加工需要研磨、鉆孔、銑磨等作業(yè)，需要具有耐高溫、耐磨特性的銑刀才足以負(fù)荷，并...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。