技術(shù)編號:3279081
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種借助于表面活性劑或直接產(chǎn)生的氣泡,利用其薄液膜本身的微米和納米級厚度,運用具有二元或多元成分的薄液膜融合過程中發(fā)生在微尺度下的化學(xué)反應(yīng),在基底表面進(jìn)行加工微/納米級結(jié)構(gòu)的裝置,特別涉及一種通過對二元或多元薄液膜及其被加工基底的熱場、電場、磁場、光場或不同工作氣體及其濃度場的精細(xì)控制,以實現(xiàn)在反應(yīng)過程中的自組裝、刻蝕或堆積而制備加工微/納米級結(jié)構(gòu)的裝置。背景技術(shù)當(dāng)代自然科學(xué)發(fā)展趨勢是朝微型化邁進(jìn),層出不窮的微/納米器件正在改善人們的生活質(zhì)量...
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