技術(shù)編號(hào)：3286682
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體基片反應(yīng)室內(nèi)部的部件及其制造方法，在鋁或鋁合金部件主體表面進(jìn)行微弧氧化技術(shù)替代傳統(tǒng)的陽極氧化技術(shù)，形成的微弧氧化涂層既可以直接作為鋁或鋁合金部件主體表面的防護(hù)層，與等離子體接觸；也可以作為夾層，在其外表面再涂覆氧化釔涂層。所述微弧氧化涂層為剛玉結(jié)構(gòu)，涂層致密度為98%，厚度在50um到300um之間連續(xù)可控，粗糙度Ra最小可達(dá)0.4um。良好的結(jié)構(gòu)和組織穩(wěn)定性，使得微弧氧化涂層成為替代陽極氧化層的理想方案。專利說明[0001]本發(fā)明涉...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。