技術(shù)編號(hào)：3289214
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，用于減少爐管內(nèi)與爐管內(nèi)腔連通的部件表面上的薄膜脫落形成的顆粒物質(zhì)，通過N2帶走爐管內(nèi)殘留的顆粒物質(zhì)，并且可以通過向爐管內(nèi)通入Si2H6氣體使得爐管內(nèi)與爐管內(nèi)腔連通的部件表面淀積一層止封膜，使得爐管內(nèi)尚未脫落完全的薄膜及未被N2帶走的顆粒物質(zhì)封住，進(jìn)而可以顯著降低爐管內(nèi)顆粒物質(zhì)的含量，使得爐管內(nèi)薄膜需要進(jìn)行停機(jī)維護(hù)的膜厚從50μm增長到了100μm，從而顯著降低了爐管進(jìn)行停機(jī)維護(hù)PM的頻率，減少了爐管內(nèi)部件的更換頻率，極大的降低PM的成本，因?yàn)?..
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。