技術(shù)編號：3291321
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明揭示了一種噴淋頭，包括噴淋頭體、至少一個氣體腔、冷卻腔和熱壁板，所述熱壁板間隔設(shè)置于所述噴淋頭體的下方，所述熱壁板通過若干扣合機(jī)構(gòu)的扣合作用固定于所述噴淋頭體下方，所述扣合機(jī)構(gòu)可以通過伸入到所述反應(yīng)腔中的一機(jī)械手解除扣合，從而使得所述熱壁板從所述噴淋頭體分離。本發(fā)明還提供一種包含上述噴淋頭的氣相沉積設(shè)備以及該氣相沉積設(shè)備的熱壁板替換方法。本發(fā)明提供的噴淋頭可以使用一機(jī)械手將所述扣合機(jī)構(gòu)扣合或解除扣合，從而將所述熱壁板安裝到所述噴淋頭體上，或?qū)⑺鰺岜?..
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