技術(shù)編號：3314787
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種能夠維持高生產(chǎn)性并抑制模具的消耗的燒結(jié)裝置、使用這種燒結(jié)裝置的燒結(jié)體的制造方法和靶材，所述燒結(jié)裝置包括設(shè)置在大氣中的非可動(dòng)部；可動(dòng)部，所述可動(dòng)部具有能夠收容處理物的模具并且相對于所述非可動(dòng)部可拆卸地裝載；覆蓋部件，所述覆蓋部件以大致密閉狀態(tài)包圍裝載在所述非可動(dòng)部上的所述可動(dòng)部并且能夠在以大致密閉狀態(tài)包圍所述可動(dòng)部的狀態(tài)下使所述可動(dòng)部與所述非可動(dòng)部分離。專利說明燒結(jié)裝置、燒結(jié)體的制造方法和靶材[0001]相關(guān)申請的交叉參考[0002]本申請要...
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