技術(shù)編號(hào)：3351067
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及使用內(nèi)部填充有吸附金屬離子的吸附材料的可移式容器， 再生由于基板處理而含有金屬成分的處理液的方法、及回收由于基板處理 而在處理液中含有的金屬成分的方法。背景技術(shù)例如，在制造半導(dǎo)體、(硅)晶片、液晶玻璃基板、光掩模用玻璃基 板、光盤用基板等各種基板的工序中，有向這些基板供給蝕刻液或顯影液、 清洗液等各種處理液而處理該基板的工序。作為使用蝕刻液的處理(蝕刻處理)的一例，可以舉出通過如下所述 的蝕刻裝置實(shí)施該蝕刻處理，即具備貯存蝕刻液的貯存槽、蝕刻基板...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。