技術(shù)編號(hào)：3368629
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制造設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于制造薄膜太陽(yáng)能電池的化學(xué)氣相沉積裝置。背景技術(shù)在諸多的太陽(yáng)能電池應(yīng)用技術(shù)中，薄膜太陽(yáng)能電池因無污染，能耗少，成本低廉， 可以大規(guī)模生產(chǎn)等一系列優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于航空、航天以及人們的日常生活中。常見的薄膜太陽(yáng)能電池包括非晶硅薄膜太陽(yáng)電池，銅銦鎵硒薄膜電池和碲化鎘薄膜電池。在公開號(hào)為101027749和1012^967的中國(guó)發(fā)明專利文件中，可以發(fā)現(xiàn)更多上述的太陽(yáng)能薄膜電池的形成方法。在薄膜太陽(yáng)能電池的制造中，透...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。