技術(shù)編號：3372893
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及光伏電池生產(chǎn)過程中使用的工位器具，尤其涉及一種PECVD用石 墨框的周轉(zhuǎn)裝載車。技術(shù)背景PECVD是太陽能電池片等離子體化學(xué)沉積鍍膜法的簡稱，在太陽能電池的生產(chǎn)過 程中，對硅片鍍膜是提高太陽能吸收效率的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原理，光線 照射到硅片上存在反射，硅片的光學(xué)損失和復(fù)合損失都會使太陽能電池的輸出低于理想 值，對硅片表面進行鍍膜處理是目前工業(yè)化生產(chǎn)應(yīng)用層面上的成熟技術(shù)，目前，硅片鍍膜多 數(shù)采用平板式等離子體化學(xué)沉積法，即通過P...
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