技術(shù)編號:3394538
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到壓電諧振器特別是具有增強(qiáng)了的壓電耦合的薄膜壓電諧振器。手持無線電中的一個最大的元件是RF濾波器。為了減小濾波器的尺寸,壓電諧振器被用作主要的濾波器元件的代替陶瓷濾波器。于是開發(fā)了制作在半導(dǎo)體襯底之上的薄膜諧振器等等。這種諧振器通常是一個沉積在襯底表面上的金屬層、一個沉積在金屬層上的壓電材料層和一個沉積在壓電材料層表面上的第二金屬層。 如本熟練人員所知,通常希望制作具有適當(dāng)輸入阻抗的濾波器以防止不需要的信號經(jīng)由濾波器發(fā)生耦合。在薄膜壓電濾波器的情...
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