技術編號：3399981
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種蝕刻停止技術，特別是涉及一種可控制組件微結構尺寸的液態(tài)重力蝕刻停止技術。背景技術 隨著科技的日益發(fā)展，人類的研究觸角已經(jīng)越來越趨向于微小化，關于微機電系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System，MEMS)的研究與發(fā)展亦明顯地增加。以微機電系統(tǒng)技術所生產(chǎn)的微結構包括微型傳感器(micro sensor)、微型致動器(micro actuator)及原子力探針等，可應用于生醫(yī)、航天、電子及環(huán)工各個領域?，F(xiàn)行的微結構蝕刻程度...
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