技術(shù)編號(hào):3425432
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用線鋸將工件(例如硅晶棒、化合物半導(dǎo)體的晶棒等)切成多 數(shù)片晶片的切斷方法。背景技術(shù)近年,晶片有大型化的趨勢(shì),隨著此大型化而使用專門用于切斷工件的線鋸。線鋸是如下的裝置,S卩,使鋼線(高張力鋼線)高速行進(jìn),在此一邊澆上漿液,一邊 壓接工件而進(jìn)行切斷,從而同時(shí)將工件切成多個(gè)晶片。在此,圖3表示一般線鋸的一例的概要。如圖3所示,線鋸101主要具有用以切斷工件的鋼線102、卷繞有鋼線102的帶槽 滾筒103、用以賦予鋼線102張力的鋼線張力賦予機(jī)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。